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  • AMR 

    复合移动机器人

    Gyrobot 晶圆搬运机器人

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  • RFID

    eRack 

    RFID 电子货架

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  •  自动换电站

    Auto Battery Changing

    Charging System

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  • Wafer

    Stocker

    12’’ FOUP/8” CST

    晶圆存储

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  • 由人机协作走向全自动生产车间

    要实现无人封装产线,设备和AMR之间的整合,设备本身必须能支持全自动化作业,产线后端的软件平台,例如派车系统、制造执行系统(MES)等,AMR跟机台之间,也要有直接通讯的能力。

    45 2021-12-15
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  • 捷螺系统-半导体工厂狭窄巷道及自动门/电梯解决方案

    捷螺系统针对半导体生产车间布局复杂、空间局促、通道狭窄、环境动态多变等情况,并且保证载货量最大的情况下,捷螺系统研发制造 四槽位晶圆FOUP搬运机器人,可以在1m设备巷道稳定作业。可以自动控制自动移门、防火门、电梯 。

    59 2021-12-15
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