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Wafer Stocker

Wafer Stocker
12’’ FOUP/8” CST

晶圆存储

 

 

  1. •生产线周边使用
  2. •100 Lots 以内, 可拆卸移动式
  3. •RFID / UHF RFID reader
  4. •12’’ FOUP/CST, 8” CST
  5. •可做各种出口配置
  6. •E84, SECS/GEM