Wafer Stocker
Wafer Stocker
12’’ FOUP/8” CST
晶圆存储
- •生产线周边使用
- •100 Lots 以内, 可拆卸移动式
- •RFID / UHF RFID reader
- •12’’ FOUP/CST, 8” CST
- •可做各种出口配置
- •E84, SECS/GEM
微信公众号
半导体智慧工厂与无人工厂效率解决方案领导者
专注高阶自走车研发制造
晶圆存储
微信公众号
半导体智慧工厂与无人工厂效率解决方案领导者